Einblicke in die Nanowelten – Die Mikro- und Nanotechnologien und deren Anwendung in der Sensorik

Die Teilnehmenden lernen Reinräume, deren Ausstattung und die herrschenden Arbeitsbedingungen kennen und es werden die Fertigungsverfahren zur Herstellung von MEMS und NEMS (Micro- and Nano-Electro-Mechanical Systems), vorwiegend auf Siliziumbasis, vorgestellt.

Die Funktionsprinzipien und Anwendungsgebiete von ausgewählter MEMS basierter Sensorik werden anhand von Beispielen aus der Unterhaltungselektronik, Industriemesstechnik und Kraftfahrzeugsensorik erläutert.

Bedeutung und Inhalte der Mikrosystemtechnik / Halbleiterfertigung:

• Werkstoffe der Mikrosystemtechnik
• Reinraum/Reinraumtechnik
• technologische Verfahren der Halbleiterindustrie: Lithographie, Dünnschichttechnik, Dotierung, Ätztechnik, Aufbau- und Verbindungstechnik
   

Ausgewählte Mikrosysteme:

• messtechnische Eigenschaften von Sensor- und Mikrosystemen
• Funktionsprinzipien ausgewählter Sensoren
• Anwendungsgebiete der MEMS Sensorik
   

Vorstellung der Reinräume der Westsächsischen Hochschule Zwickau:

• Reinraumrundgang
• Weiterführende Erläuterungen zum theoretischen Teil der Weiterbildung anhand der verfügbaren Anlagentechnik der WHZ

Informationen zur Buchung

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In der Kursgebühr sind erforderliche Unterlagen, Lizenzen, eine Teilnahmebescheinigung sowie Verpflegungspauschalen enthalten. Die Rechnung wird vor Veranstaltungsbeginn gestellt.